跟进来的中星微电子总负责人张海春，笑呵呵道：“一般搞学术的人，都不怎么喜欢这种场合，等以后习惯了应该会好一些。”
张海春是光刻机领域的大牛级人物，曾先后在asml及台积电工作，甚至还被smee聘请为高级总工程师，不过后来因为某些原因离职了。
他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。
“呵呵，也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟，“超精密工件台的实验怎么样了？”
“不怎么理想，目前实验最多只能到5nm，距离要求的2nm还有一定的差距，德国跟日苯那边……”
陈序听了一会，然后一把把香烟摁灭，起身道：“走，带我过去看看。”
光刻机和别的设备不一样，它里面大部分零部件都需要专门定制。
什么意思呢，就是你想在市场上买配件来组装都不可能。
而越高端定制的比例也越高，到了10nm这个级别，里面90%以上都是定制的。
且不是你想定制就能定制的，得看上游厂商愿不愿意接你的订单。
他之前花高价从荷兰买配件，就是因为那些配件如果全部自己生产的话，先不说短时间能不能生产出来，就算能做出来，价格也要贵上十倍都不止！
不过以后不行了，欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁，荷兰那边已经pass掉xhzz的订单申请。
不仅仅是荷兰，德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了，导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。
来到实验室，陈序控制机器人调校超精密工件台，而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。
一遍、两遍、十遍……
这一做就是十二小时，饿的实在撑不住了才出去吃一点，然后继续全身心的投入到实验中来。
超精密机械的调校是非常耗费时间精力的，像米国cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。
当然，陈序不可能像那些工程师一样，花费十年去调校一个零部件，也不需要。
小白会帮他省去百分之九十九的步骤。
半个月后，经过陈序废寝忘食的工作，把超精密工件台的精度调校到了3nm。
这是一个具有里程碑纪念意义的时刻！
因为3nm的超精密工件台已经满足了14nm光刻机的制备工艺要求。
从这一刻起，中国算是全面掌握了14nm光刻机的制造技术。
上百名工程师全部围了过来，看着模拟机上的超精密工件台高速运行着，很多人眼睛里泛起了泪花。
偌大的实验室里响起了热烈的掌声。
“啪啪啪……”
多少年了，中国一直嚷着制造“中国芯”，但是因为造不出来尖端光刻机，这个梦想只能停留在幻想之中。
在机械、通讯设备、企业金融、航空航天等核心领域，不得不大量采用国外的芯片。
而众所周知，芯片是可以开后门的，而且是非常容易的事情。
最危险的就是只要不拔电池，通过芯片后门你所有的动作、所有的信息别人都可以轻易获取，而且你还不知道。
举个最简单的例子，智能手机一般都装有gps芯片，即使关机了也可以定位。
张海春博士看着电脑上运行的数据，膀激动的说：“好啊…好！实在是太好了！”